在新建或改造的無塵室工程潔凈棚建設(shè)完成后,空氣一般由風扇從FFU的頂部吸入空氣,并用主過濾器和高能效過濾器對其進行過濾,過濾后的干凈空氣以0.45 m / s±20%的均勻速率在整個出風口表面送入無塵潔凈室中。形成均勻的層以允許清潔的空氣以垂直、單向的方式流動,從而確保工作區(qū)域所需的潔凈度。
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無塵室工程潔凈棚中的氣流是影響潔凈室潔凈度的重要因素,無塵室工程潔凈棚設(shè)計的氣流速度,通常選擇在0.25--0.5 m / s的范圍內(nèi)。這種氣流速度屬于微風區(qū)域,很容易被人和機器的移動所干擾。在混亂的情況下,提高風速可以減少這種干擾的影響,并保持潔凈度。但是提高風速會增加運行成本。因此如果滿足所需的潔凈度,則是特別好的設(shè)計解決方案途徑。請以風速調(diào)節(jié)實現(xiàn)適當?shù)娘L速供應(yīng)氣流,以實現(xiàn)經(jīng)濟效益。
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另一方面,無塵室工程潔凈棚內(nèi)保持均勻的氣流,也是穩(wěn)定潔凈室的清潔度的重要因素,并且如果不能保持均勻的氣流。則意味著風速將不同,尤其是在墻壁上,氣流會在墻壁上產(chǎn)生旋渦。實際上實現(xiàn)高度潔凈化實際上是非常困難的。為了在垂直層流方向上保持均勻的氣流,您需要執(zhí)行以下操作:(A)打擊面的風速須沒有差異。(B)地面返回板的吸力表面上的風速須沒有差異。如果速度太低或太高(0.2m / s,0.7m / s),都會發(fā)生渦旋。在0.5 m / s的速度下,風量是均勻的。當前,普通潔凈室中的風速為0.25--0.5m / s。
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